Фотоприемник и способ его изготовления

Способ включает себе легирование кремниевой подложки бором или фосфором, ее отжиг в печи в кислородосодержащей среде, формирование на внутренней поверхности подложки диэлектрического слоя, помещение подложки в испарительную камеру и формирование на ее внешней поверхности слоя алюминия, нанесение на диэлектрический слой пленки из теллурида кадмия. Подложку располагают под углом 40-45° между направлением молекулярного пучка и нормалью к ней. Два контакта впивают в пленку из теллурида кадмия с двух противоположных сторон. Фотоприемник содержит кремниевую подложку, диэлектрический слой из оксида кремния, расположенный на внутренней поверхности подложки, слой из алюминия, контакты, источник напряжения и регистратор. На диэелектрическом слое из оксида кремния выполнен слой из теллурида кадмия. Источник напряжения включен между одним из контактов и слоем алюминия, а регистратор – между контактами.

Сфера применения: K области радио и оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении фоточувствитель-ных полупроводниковых приборов – фотоприем-ников, которые могут применяться для обнару-жения и регистрации электромагнитных сигналов.

Основная технология: Фотоприемник содержит кремниевую подложку, диэлектрический слой из оксида кремния, расположенный на внутренней поверхности подложки, металлический слой, контакты, источник напряжения и регистратор, при этом металлический слой из алюминия расположен на внешней поверхности подложки, на диэелектрическом слое из оксида кремния выполнен слой из теллурида кадмия, на противоложных концах которого нанесены контакты, источник напряжения включен между одним из контактов и слоем алюминия, а регистратор – между контактами.

Экономическая эффективность: Предлагаемый фотоприемник, может работать в качестве отдельного фотоприемника, а также в качестве составной части матричного прибора позволяет управлять спектральной фоточувствительностью, открывает новые возможности при обработке информации, так как обеспечивается прием сигналов с его выхода с различной спектральной фоточувствительностью его согласование с излучателем, что актуально при использовании работов с цветовим видением.

Название организации: Ферганский государственный университет, кафедра зоология.
Почтовый адрес: 150100, г. Фергана, ул. Мураббийлар, 19.
Тел.: (8 373) 224-28-71, факс: 224-35-32,
e-mail: fardu_info@mail.ru
Авторы: С.Отажонов, Б.Отакулов.