Фотоприемник и способ его изготовления

Способ включает себе легирование кремниевой подложки бором или фосфором, ее отжиг в печи в кислородосодержащей среде, формирование на внутренней поверхности подложки диэлектрического слоя, помещение подложки в испарительную камеру и формирование на ее внешней поверхности слоя алюминия, нанесение на диэлектрический слой пленки из теллурида кадмия. Подложку располагают под углом 40-450 между направлением молекуляр-ного пучка и нормалью к ней. Два контакта впивают в пленку из теллурида кадмия с двух противоположных сторон. Фотоприемник содержит кремниевую подложку, диэлектрический слой из оксида кремния, расположен-ный на внутренней поверхности подложки, слой из алюминия, контакты, источник напряжения и регистратор. На диэлектрическом слое из оксида кремния выполнен слой из теллурида кадмия. Источник напряжения включен между одним из контактов и слоем алюминия, а регистратор – между контактами.

К области радио и оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении фоточувствительных полупроводниковых приборов –фотоприемников, которые могут применяться для обнаружения и регистрации электромагнитных сигналов.

Фотоприемник содержит кремниевую подложку, диэлектрический слой из оксида кремния, расположенный на внутренней поверхности подложки, металлический слой, контакты, источник напряжения и регистратор, при этом металлический слой из алюминия расположен на внешней поверхности подложки, на диэлектрическом слое из оксида кремния выполнен слой из теллурида кадмия, на противоложных концах которого нанесены контакты, источник напряжения включен между одним из контактов и слоем алюминия, а регистратор – между контактами.

Предлагаемый фотоприемник, может работать в качестве отдельного фотоприемника, а также в качестве составной части матричного прибора позволяет управлять спектральной фоточувствительностью, открывает новые возможности при обработке информации, так как обеспечивается прием сигналов с его выхода с различной спектральной фоточувствительностью его согласование с излучателем, что актуально при использовании роботов с цветовым видением.

Название организации: Ферганский государственный университет, кафедра физика
Почтовый адрес : 150100, г.Фергана, ул.Мураббийлар,19.
тел.: (8 373)224-28-71, факс: 224-35-32, E-mail: fardu_info@mail.ru
Автор: С.Отажонов